|
項目 item |
substrate |
| Materials 材質 |
Qz合成石英/B27Oi/SL蘇打玻璃
|
| Size 尺寸 |
①3"/4"/5"/6"/7"/9" ② 508*609.6, 620*720, 700*800, 800*960
|
| Thickness 厚度 |
① >3mm ② >0.8mm
|
| TTV 總厚度偏差 |
① ≤2um ② ≤10um
|
| Flatness 平面度 |
① >2um ② > 10um
|
| Capability 產能 |
100K/M (以126*126為例)
|