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項目 item |
特種行業應用基板 Special application |
| Materials 材質 |
/K9/B270i/蘇打玻璃/D263T/BF33
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| Size 尺寸 |
≤對角線1250mm
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| Thickness 厚度 |
≥3mm
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| TTV 總厚度偏差 |
≤2um
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| Flatness 平面度 |
≤2um
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| Surface accuracy 面精度 |
λ/2
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